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新聞詳情
哪些流量計適用于半導體行業(yè)呢上海自動化儀表四半導體行業(yè)主要使用?氣體質(zhì)量流量計?和?電磁流量計?,具體選擇需根據(jù)工藝場景 和介質(zhì)特性決定: 上海自動化儀表四廠氣體質(zhì)量流量計 適用于晶圓加工、離子注入、真空封裝等工藝,需高精度控制氣體流量以確保工藝穩(wěn)定性。例如: 上海自動化儀表三廠?濕法蝕刻工藝?:控制HF、H?O?等化學氣體的流量,避免蝕刻不足或過蝕。 ? ?離子注入工藝?:監(jiān)測Ar等惰性氣體流量,維持離子源穩(wěn)定性。 ? ?真空封裝測試?:配合壓力傳感器實現(xiàn)動態(tài)補償,防止外部氣體滲入導致氧化失效。 ? 電磁流量計 上海自動化儀表三在晶圓級封裝等場景中,電磁流量計可監(jiān)測N?保護氣體等流體,但其應用更 多集中在氣體質(zhì)量流量計的上下游工藝環(huán)節(jié)。
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